በኤሌክትሮኒካዊ ምህንድስና ስርዓቶች ውስጥ ከፍተኛ-ንፅህና ያላቸው የጋዝ ቧንቧዎች አተገባበር

የ909 ፕሮጀክት በጣም ትልቅ ደረጃ የተቀናጀ ሰርክ ፋብሪካ በዘጠነኛው የአምስት አመት እቅድ ውስጥ የሀገሬ ኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪ ትልቅ የግንባታ ፕሮጀክት ሲሆን የመስመሩ ስፋት 0.18 ማይክሮን እና 200 ሚሊ ሜትር የሆነ ዲያሜትር ያለው ቺፖችን ለማምረት ነው።

በጣም ትልቅ መጠን ያለው የተቀናጁ ወረዳዎች የማምረት ቴክኖሎጂ እንደ ማይክሮ-ማሽን የመሳሰሉ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያላቸውን ቴክኖሎጂዎች ብቻ ሳይሆን በጋዝ ንፅህና ላይ ከፍተኛ መስፈርቶችን ያስቀምጣል.
ለፕሮጀክት 909 የጅምላ ጋዝ አቅርቦት በዩናይትድ ስቴትስ ፕራክዛየር ዩቲሊቲ ጋዝ ሊሚትድ እና በሻንጋይ ከሚገኙ አግባብነት ካላቸው አካላት ጋር በጋራ በመሆን የጋዝ ማምረቻ ፋብሪካን በጋራ ለማቋቋም በመተባበር የቀረበ ነው።የጋዝ ማምረቻ ፋብሪካው ከ909 ፕሮጀክት ፋብሪካ አጠገብ ነው። በግምት 15,000 ካሬ ሜትር ቦታ የሚሸፍነው ሕንፃ. የተለያዩ ጋዞች የንጽህና እና የውጤት መስፈርቶች

ከፍተኛ-ንፅህና ናይትሮጅን (PN2)፣ ናይትሮጅን (N2) እና ከፍተኛ-ንፅህና ኦክሲጅን (PO2) የሚመነጩት በአየር መለያየት ነው። ከፍተኛ-ንፅህና ሃይድሮጂን (PH2) የሚመረተው በኤሌክትሮይሲስ ነው. አርጎን (አር) እና ሂሊየም (ሄ) ከውጭ የተገዙ ናቸው. ኳሲ-ጋዝ በፕሮጀክት 909 ውስጥ ጥቅም ላይ እንዲውል የተጣራ እና የተጣራ ነው. ልዩ ጋዝ በጠርሙሶች ውስጥ ይቀርባል, እና የጋዝ ጠርሙስ ካቢኔው በተቀናጀ የወረዳ ማምረቻ ፋብሪካ ረዳት አውደ ጥናት ውስጥ ይገኛል.
ሌሎች ጋዞች ደግሞ ንጹህ ደረቅ የታመቀ አየር CDA ሥርዓት ያካትታሉ, አጠቃቀም መጠን 4185m3 / ሰ, አንድ ግፊት ጠል ነጥብ -70 ° C, እና አጠቃቀም ቦታ ላይ ጋዝ ውስጥ 0.01um የማይበልጥ ቅንጣት መጠን ጋር. የመተንፈስ የታመቀ አየር (ቢኤ) ስርዓት ፣ የአጠቃቀም መጠን 90m3 / ሰ ፣ የግፊት ጤዛ ነጥብ 2 ℃ ፣ በጥቅም ላይ የዋለው ጋዝ ውስጥ ያለው ቅንጣት መጠን ከ 0.3um ያልበለጠ ፣ የሂደት ቫክዩም (PV) ስርዓት ፣ የአጠቃቀም መጠን 582m3 / ሰ የቫኩም ዲግሪ በአጠቃቀም ቦታ -79993Pa . የጽዳት ቫክዩም (HV) ሥርዓት, አጠቃቀም መጠን 1440m3 / ሰ, የቫኩም ዲግሪ አጠቃቀም ነጥብ -59995 ፓ የአየር መጭመቂያ ክፍል እና ቫኩም ፓምፕ ክፍል ሁለቱም በ 909 ፕሮጀክት ፋብሪካ አካባቢ ውስጥ ይገኛሉ.

የቧንቧ እቃዎች እና መለዋወጫዎች ምርጫ
በ VLSI ምርት ውስጥ ጥቅም ላይ የዋለው ጋዝ እጅግ በጣም ከፍተኛ የንጽሕና መስፈርቶች አሉት.ከፍተኛ-ንፅህና ያላቸው የጋዝ ቧንቧዎችብዙውን ጊዜ በንጹህ የምርት አካባቢዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ, እና የንጽህና ቁጥጥራቸው ከጥቅም ላይ ካለው የንጽህና ደረጃ ጋር የሚስማማ ወይም ከፍ ያለ መሆን አለበት! በተጨማሪም ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው የጋዝ ቧንቧዎች ብዙውን ጊዜ በንጹህ የምርት አካባቢዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላሉ. ንፁህ ሃይድሮጂን (PH2)፣ ከፍተኛ-ንፅህና ኦክሲጅን (PO2) እና አንዳንድ ልዩ ጋዞች ተቀጣጣይ፣ ፈንጂ፣ ተቀጣጣይ-ደጋፊ ወይም መርዛማ ጋዞች ናቸው። የጋዝ ቧንቧው ስርዓት በትክክል ያልተነደፈ ከሆነ ወይም ቁሳቁሶቹ በትክክል ከተመረጡ በጋዝ ነጥብ ላይ ጥቅም ላይ የሚውለው ጋዝ ንፅህና ይቀንሳል, ግን አይሳካም. የሂደቱን መስፈርቶች ያሟላል, ነገር ግን ለመጠቀም ደህንነቱ ያልተጠበቀ እና በንፁህ ፋብሪካው ላይ ብክለት ያስከትላል, የንጹህ ፋብሪካን ደህንነት እና ንፅህናን ይጎዳል.
ጥቅም ላይ በሚውልበት ጊዜ የከፍተኛ-ንፅህና ጋዝ ጥራት ዋስትና የሚወሰነው በጋዝ ምርት ፣ በማጣሪያ መሳሪያዎች እና በማጣሪያዎች ትክክለኛነት ላይ ብቻ ሳይሆን በቧንቧ መስመር ውስጥ ባሉ ብዙ ምክንያቶች ላይም ተጽዕኖ ያሳድራል። በጋዝ ማምረቻ መሳሪያዎች ፣ የማጣሪያ መሳሪያዎች እና ማጣሪያዎች ላይ ከተመረኮዘ ተገቢ ያልሆነ የጋዝ ቧንቧ ስርዓት ዲዛይን ወይም የቁሳቁስ ምርጫን ለማካካስ እጅግ በጣም ብዙ ትክክለኛ መስፈርቶችን መጫን ትክክል አይደለም።
በ909 ኘሮጀክቱ ዲዛይን ሂደት ውስጥ "የንጹህ ተክሎች ዲዛይን ኮድ" GBJ73-84 (አሁን ያለው መስፈርት (GB50073-2001))፣ "የተጨመቁ የአየር ማረፊያ ጣቢያዎች ዲዛይን ኮድ" GBJ29-90፣ "ኮድ" ተከትለናል። ለኦክሲጅን ጣቢያዎች ዲዛይን "GB50030-91", "የሃይድሮጅን እና የኦክስጅን ጣቢያዎች ዲዛይን ኮድ" GB50177-93, እና የቧንቧ እቃዎች እና መለዋወጫዎች ምርጫ አግባብነት ያላቸው ቴክኒካዊ እርምጃዎች. "የንጹህ እፅዋት ዲዛይን ኮድ" የቧንቧ መስመር ቁሳቁሶችን እና ቫልቮች ምርጫን እንደሚከተለው ይደነግጋል.

(1) የጋዝ ንፅህና ከ 99.999% በላይ ወይም እኩል ከሆነ እና የጤዛው ነጥብ ከ -76 ዲግሪ ሴንቲግሬድ ያነሰ ከሆነ, 00Cr17Ni12Mo2Ti ዝቅተኛ የካርቦን አይዝጌ ብረት ቧንቧ (316 ኤል) በኤሌክትሮል የተሸፈነ ውስጠኛ ግድግዳ ወይም OCr18Ni9 አይዝጌ ብረት ቧንቧ (304) በኤሌክትሮል የተሠራ ውስጠኛ ግድግዳ ጥቅም ላይ መዋል አለበት. ቫልቭው ዲያፍራም ቫልቭ ወይም ቤሎው ቫልቭ መሆን አለበት።

(2) የጋዝ ንፅህና ከ 99.99% በላይ ወይም እኩል ከሆነ እና የጤዛ ነጥቡ ከ -60 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በታች ከሆነ, OCr18Ni9 አይዝጌ ብረት ቱቦ (304) በኤሌክትሮል የተሸፈነ ውስጠኛ ግድግዳ መጠቀም ያስፈልጋል. ተቀጣጣይ የጋዝ ቧንቧዎችን መጠቀም ካለባቸው የቤሎው ቫልቮች በስተቀር የኳስ ቫልቮች ለሌሎች የጋዝ ቧንቧዎች ጥቅም ላይ መዋል አለባቸው.

(3) የደረቁ የተጨመቀ አየር ጠል ነጥብ ከ -70 ዲግሪ ሴንቲግሬድ በታች ከሆነ፣ OCr18Ni9 አይዝጌ ብረት ቧንቧ (304) ከውስጥ ግድግዳ ጋር ጥቅም ላይ መዋል አለበት። የጤዛ ነጥቡ ከ -40 ℃ በታች ከሆነ፣ OCr18Ni9 አይዝጌ ብረት ቧንቧ (304) ወይም ሙቅ-ማጥለቅ ያለ ስፌት የሌለው የብረት ቱቦ ጥቅም ላይ መዋል አለበት። ቫልዩ የቤሎው ቫልቭ ወይም የኳስ ቫልቭ መሆን አለበት.

(4) የቫልቭው ቁሳቁስ ከተገናኘው የቧንቧ እቃዎች ጋር የሚስማማ መሆን አለበት.

እንደ መመዘኛዎች እና አግባብነት ያላቸው ቴክኒካዊ እርምጃዎች መስፈርቶች, የቧንቧ መስመር ቁሳቁሶችን በምንመርጥበት ጊዜ በዋናነት የሚከተሉትን ገጽታዎች እንመለከታለን.

(1) የቧንቧ እቃዎች የአየር መተላለፊያው ትንሽ መሆን አለበት. የተለያዩ ቁሳቁሶች ቧንቧዎች የተለያዩ የአየር መተላለፊያዎች አላቸው. ከፍተኛ የአየር መተላለፊያነት ያላቸው ቱቦዎች ከተመረጡ, ብክለት ሊወገድ አይችልም. ከማይዝግ ብረት የተሰሩ ቱቦዎች እና የመዳብ ቱቦዎች በከባቢ አየር ውስጥ ኦክሲጅን ወደ ውስጥ እንዳይገባ እና እንዳይበላሽ ለመከላከል የተሻሉ ናቸው. ይሁን እንጂ ከማይዝግ ብረት የተሰሩ ቱቦዎች ከመዳብ ቱቦዎች ያነሱ ስለሆኑ የመዳብ ቱቦዎች በከባቢ አየር ውስጥ ያለው እርጥበት ወደ ውስጠኛው ንጣፎች ውስጥ እንዲገባ ለማድረግ የበለጠ ንቁ ናቸው. ስለዚህ ለከፍተኛ ንፅህና የጋዝ ቧንቧዎች ቧንቧዎችን በሚመርጡበት ጊዜ ከማይዝግ ብረት የተሰሩ ቱቦዎች የመጀመሪያው ምርጫ መሆን አለባቸው.

(2) የቧንቧው የውስጠኛው ገጽታ ተጣብቋል እና ጋዙን በመተንተን ላይ ትንሽ ተጽእኖ ይኖረዋል. ከማይዝግ ብረት የተሰራ ቱቦ ከተሰራ በኋላ የተወሰነ መጠን ያለው ጋዝ በብረት ጥልፍ ውስጥ ይቀመጣል. ከፍተኛ ንፅህና ያለው ጋዝ ሲያልፍ, ይህ የጋዝ ክፍል ወደ አየር ፍሰት ውስጥ በመግባት ብክለት ያስከትላል. በተመሳሳይ ጊዜ በማስታወቂያ እና በመተንተን ምክንያት በቧንቧው ውስጠኛው ክፍል ላይ ያለው ብረት የተወሰነ መጠን ያለው ዱቄት ያመነጫል, ይህም ከፍተኛ ንፅህና ባለው ጋዝ ላይ ብክለት ያስከትላል. የቧንቧ መስመሮች ከ 99.999% በላይ ንፅህና ወይም ፒፒቢ ደረጃ, 00Cr17Ni12Mo2Ti ዝቅተኛ የካርቦን አይዝጌ ብረት ቧንቧ (316L) ጥቅም ላይ መዋል አለበት.

(3) ከማይዝግ ብረት የተሰሩ ቱቦዎች የመልበስ መከላከያ ከመዳብ ቱቦዎች የተሻለ ነው, እና በአየር ፍሰት መሸርሸር ምክንያት የሚፈጠረው የብረት ብናኝ በአንጻራዊነት ያነሰ ነው. ለጽዳት ከፍተኛ መስፈርቶች ያላቸው የምርት አውደ ጥናቶች 00Cr17Ni12Mo2Ti ዝቅተኛ የካርቦን አይዝጌ ብረት ቧንቧዎች (316L) ወይም OCr18Ni9 አይዝጌ ብረት ቧንቧዎች (304) መጠቀም ይችላሉ የመዳብ ቱቦዎች ጥቅም ላይ መዋል የለባቸውም።

(4) ከ 99.999% በላይ የጋዝ ንፅህና ወይም ፒፒቢ ወይም ፒፒት ደረጃዎች ላላቸው የቧንቧ መስመሮች ወይም በ "ንጹህ የፋብሪካ ዲዛይን ኮድ" ውስጥ በተገለፀው ንጹህ ክፍሎች ውስጥ N1-N6 የአየር ንፅህና ደረጃዎች ባለባቸው ንጹህ ክፍሎች ውስጥ በጣም ንጹህ ቱቦዎች ወይምEP እጅግ በጣም ንጹህ ቧንቧዎችጥቅም ላይ መዋል አለበት. "ንጹህ ቱቦን እጅግ በጣም ለስላሳ ውስጣዊ ገጽታ" ያጽዱ.

(5) በማምረት ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ ከሚውሉት ልዩ የጋዝ ቧንቧ መስመሮች ውስጥ አንዳንዶቹ በጣም የሚበላሹ ጋዞች ናቸው. በእነዚህ የቧንቧ መስመሮች ውስጥ ያሉት ቧንቧዎች ዝገትን የሚቋቋም አይዝጌ ብረት ቧንቧዎችን እንደ ቧንቧዎች መጠቀም አለባቸው. አለበለዚያ ቧንቧዎቹ በመበላሸታቸው ምክንያት ይጎዳሉ. በላዩ ላይ የዝገት ነጠብጣቦች ከተከሰቱ ተራ እንከን የለሽ የብረት ቱቦዎች ወይም የገሊላዘር የተገጣጠሙ የብረት ቱቦዎች ጥቅም ላይ መዋል የለባቸውም።

(6) በመርህ ደረጃ, ሁሉም የጋዝ ቧንቧዎች ግንኙነቶች መገጣጠም አለባቸው. የገሊላውን የብረት ቱቦዎች መገጣጠም የገሊላውን ንብርብር ስለሚያጠፋው, የተጣራ የብረት ቱቦዎች በንጹህ ክፍሎች ውስጥ ለቧንቧዎች ጥቅም ላይ አይውሉም.

ከላይ የተጠቀሱትን ምክንያቶች ከግምት ውስጥ በማስገባት በ&7& ፕሮጀክቱ ውስጥ የተመረጡት የጋዝ ቧንቧ ቧንቧዎች እና ቫልቮች የሚከተሉት ናቸው ።

ከፍተኛ-ንፅህና ናይትሮጅን (PN2) የስርዓት ቱቦዎች ከ 00Cr17Ni12Mo2Ti ዝቅተኛ የካርቦን አይዝጌ ብረት ቧንቧዎች (316 ኤል) በኤሌክትሮላይዝድ ውስጠኛ ግድግዳዎች የተሠሩ ናቸው, እና ቫልቮቹ ከተመሳሳይ ቁሳቁስ አይዝጌ ብረት ቤሎ ቫልቮች የተሰሩ ናቸው.
የናይትሮጅን (N2) ስርዓት ቱቦዎች ከ 00Cr17Ni12Mo2Ti ዝቅተኛ የካርቦን አይዝጌ ብረት ቧንቧዎች (316 ኤል) በኤሌክትሮላይዝድ ውስጠኛ ግድግዳዎች የተሠሩ ናቸው, እና ቫልቮቹ ከተመሳሳይ ቁሳቁስ አይዝጌ ብረት ቤሎ ቫልቮች የተሰሩ ናቸው.
ከፍተኛ-ንፅህና ሃይድሮጂን (PH2) ሲስተም ቧንቧዎች ከ 00Cr17Ni12Mo2Ti ዝቅተኛ የካርቦን አይዝጌ ብረት ቱቦዎች (316 ኤል) በኤሌክትሮፖሊዝድ ውስጠኛ ግድግዳዎች የተሠሩ ናቸው, እና ቫልቮቹ ከተመሳሳይ ቁሳቁስ አይዝጌ ብረት ቤሎ ቫልቮች የተሰሩ ናቸው.
ከፍተኛ-ንፅህና ያለው ኦክሲጅን (PO2) ስርዓት ቱቦዎች ከ 00Cr17Ni12Mo2Ti ዝቅተኛ የካርቦን አይዝጌ ብረት ቧንቧዎች (316 ኤል) በኤሌክትሮ-የተጣራ ውስጠኛ ግድግዳዎች የተሠሩ ናቸው, እና ቫልቮቹ ከተመሳሳይ ቁሳቁስ አይዝጌ ብረት ቤሎ ቫልቮች የተሰሩ ናቸው.
የአርጎን (አር) የስርዓት ቱቦዎች ከ 00Cr17Ni12Mo2Ti ዝቅተኛ-ካርቦን አይዝጌ ብረት ቧንቧዎች (316 ኤል) በኤሌክትሮላይዝድ ውስጠኛ ግድግዳዎች የተሠሩ ናቸው, እና ከማይዝግ ብረት የተሰራ የቤል ቫልቮች ተመሳሳይ እቃዎች ጥቅም ላይ ይውላሉ.
የሂሊየም (ሄ) ስርዓት ቱቦዎች ከ 00Cr17Ni12Mo2Ti ዝቅተኛ የካርቦን አይዝጌ ብረት ቧንቧዎች (316 ኤል) በኤሌክትሮላይዝድ ውስጠኛ ግድግዳዎች የተሠሩ ናቸው, እና ቫልቮቹ ከተመሳሳይ ቁሳቁስ አይዝጌ ብረት ቤሎ ቫልቮች የተሰሩ ናቸው.
የንፁህ ደረቅ የታመቀ አየር (ሲዲኤ) ስርዓት ቧንቧዎች ከ OCr18Ni9 አይዝጌ ብረት ቧንቧዎች (304) በተጣራ ውስጠኛ ግድግዳዎች የተሠሩ ናቸው ፣ እና ቫልቮቹ ከተመሳሳይ ቁሳቁስ አይዝጌ ብረት ቤሎ ቫልቭ የተሰሩ ናቸው።
የአተነፋፈስ የታመቀ አየር (ቢኤ) ስርዓት ቧንቧዎች ከ OCr18Ni9 አይዝጌ ብረት ቧንቧዎች (304) በተጣራ ውስጠኛ ግድግዳዎች የተሠሩ ናቸው ፣ እና ቫልቮቹ ከተመሳሳይ ቁሳቁስ አይዝጌ ብረት የኳስ ቫልቭ የተሰሩ ናቸው።
የሂደቱ ቫክዩም (PV) ስርዓት ቧንቧዎች ከ UPVC ቧንቧዎች የተሠሩ ናቸው, እና ቫልቮቹ ከተመሳሳይ ነገር የተሠሩ የቫኩም ቢራቢሮ ቫልቮች ናቸው.
የጽዳት ቫክዩም (HV) ስርዓት ቧንቧዎች ከ UPVC ቧንቧዎች የተሠሩ ናቸው, እና ቫልቮቹ ከተመሳሳይ ነገር የተሠሩ የቫኩም ቢራቢሮ ቫልቮች ናቸው.
የልዩ ጋዝ ስርዓት ቱቦዎች ሁሉም ከ 00Cr17Ni12Mo2Ti ዝቅተኛ የካርቦን አይዝጌ ብረት ቧንቧዎች (316 ኤል) በኤሌክትሮላይዝድ ውስጠኛ ግድግዳዎች የተሠሩ ናቸው, እና ቫልቮቹ ከተመሳሳይ ቁሳቁስ አይዝጌ ብረት ቤሎ ቫልቮች የተሰሩ ናቸው.

3 የቧንቧ መስመር ዝርጋታ እና መትከል
3.1 የ "ንጹህ ፋብሪካ ሕንፃ ዲዛይን ኮድ" ክፍል 8.3 ለቧንቧ ማያያዣዎች የሚከተሉትን ድንጋጌዎች ይደነግጋል.
(1) የቧንቧ ማያያዣዎች በተበየደው መሆን አለባቸው, ነገር ግን ሙቅ-ማጥለቅ አንቀሳቅሷል ብረት ቱቦዎች በክር መሆን አለበት.
(2) አይዝጌ ብረት ቧንቧዎች በአርጎን አርክ ብየዳ እና በባት ዊንዲንግ ወይም ሶኬት በመገጣጠም መያያዝ አለባቸው ነገርግን ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው የጋዝ ቧንቧዎች በውስጠኛው ግድግዳ ላይ ምልክት በሌለበት በባጥ ብየዳ መያያዝ አለባቸው።
(3) በቧንቧ እና በመሳሪያዎች መካከል ያለው ግንኙነት የመሳሪያውን የግንኙነት መስፈርቶች ማሟላት አለበት.የቧንቧ ማያያዣዎችን በሚጠቀሙበት ጊዜ የብረት ቱቦዎች ጥቅም ላይ መዋል አለባቸው
(4) በቧንቧዎች እና በቫልቮች መካከል ያለው ግንኙነት የሚከተሉትን ደንቦች ማክበር አለበት

① ከፍተኛ-ንፅህና ያላቸው የጋዝ ቧንቧዎችን እና ቫልቮች የሚያገናኘው የማተሚያ ቁሳቁስ በአምራች ሂደቱ እና በጋዝ ባህሪያት መስፈርቶች መሰረት የብረት ማገዶዎች ወይም ድርብ ፋራሎችን መጠቀም አለባቸው.
②በክር ወይም በፍላጅ ማያያዣ ላይ ያለው የማተሚያ ቁሳቁስ ፖሊቲሜትሪ (polyetrafluoroethylene) መሆን አለበት።
3.2 እንደ መመዘኛዎች እና አግባብነት ያላቸው ቴክኒካዊ እርምጃዎች መስፈርቶች, ከፍተኛ-ንፅህና ያላቸው የጋዝ ቧንቧዎች ግንኙነት በተቻለ መጠን በተቻለ መጠን መያያዝ አለባቸው. በመበየድ ጊዜ ቀጥተኛ ባት ብየዳ መወገድ አለበት. የቧንቧ እጀታዎች ወይም የተጠናቀቁ መገጣጠሚያዎች ጥቅም ላይ መዋል አለባቸው. የቧንቧ እጀታዎች ልክ እንደ ቧንቧዎቹ ተመሳሳይ ቁሳቁስ እና ውስጣዊ ገጽታ ለስላሳ መሆን አለባቸው. ደረጃ, ብየዳ ወቅት, ብየዳ ክፍል oxidation ለመከላከል ሲሉ, ንጹሕ መከላከያ ጋዝ ወደ ብየዳ ቧንቧው ውስጥ መግባት አለበት. ከማይዝግ ብረት የተሰሩ ቱቦዎች, የአርጎን አርክ ብየዳ ጥቅም ላይ መዋል አለበት, እና ተመሳሳይ ንፅህና ያለው የአርጎን ጋዝ ወደ ቧንቧው ውስጥ መግባት አለበት. በክር የተያያዘ ግንኙነት ወይም በክር የተያያዘ ግንኙነት ስራ ላይ መዋል አለበት። ፍሌጆችን በሚያገናኙበት ጊዜ, ፈረሶች ለክር ግንኙነቶች ጥቅም ላይ መዋል አለባቸው. ከኦክሲጅን ቱቦዎች እና ከሃይድሮጂን ቱቦዎች በስተቀር የብረት ማያያዣዎችን መጠቀም አለባቸው, ሌሎች ቧንቧዎች ፖሊቲሪየም ፓይፕሊንሊን መጠቀም አለባቸው. አነስተኛ መጠን ያለው የሲሊኮን ጎማ ወደ ጋኬቶቹ መቀባቱ ውጤታማ ይሆናል። የማተም ውጤትን ያሻሽሉ። የፍላጅ ግንኙነቶች ሲደረጉ ተመሳሳይ እርምጃዎች መወሰድ አለባቸው.
የመጫን ሥራ ከመጀመሩ በፊት የቧንቧዎችን ዝርዝር የእይታ ምርመራ ፣መግጠሚያዎች, ቫልቮች, ወዘተ መደረግ አለባቸው. የውስጠኛው ግድግዳ ተራ ከማይዝግ ብረት የተሰሩ ቱቦዎች ከመጫኑ በፊት መመረጥ አለባቸው። የኦክስጂን ቧንቧዎች ቧንቧዎች, እቃዎች, ቫልቮች, ወዘተ የመሳሰሉት ከዘይት ውስጥ በጥብቅ የተከለከሉ መሆን አለባቸው, እና ከመጫንዎ በፊት በአስፈላጊ መስፈርቶች መሰረት በጥብቅ መበላሸት አለባቸው.
ስርዓቱ ከመጫኑ እና ከመተግበሩ በፊት, የማስተላለፊያ እና ማከፋፈያ የቧንቧ መስመር ስርዓት በተሰጠ ከፍተኛ ንፁህ ጋዝ ሙሉ በሙሉ ማጽዳት አለበት. ይህ በመትከሉ ሂደት ውስጥ በአጋጣሚ ወደ ስርዓቱ ውስጥ የወደቁትን የአቧራ ቅንጣቶችን ከማጥፋት በተጨማሪ በቧንቧው ስርዓት ውስጥ የማድረቅ ሚና ይጫወታል, በቧንቧ ግድግዳ ላይ የተጣበቀውን እርጥበት ያለው ጋዝ እና የቧንቧ እቃዎችን እንኳን ያስወግዳል.

4. የቧንቧ ግፊት ሙከራ እና መቀበል
(1) ስርዓቱ ከተጫነ በኋላ በልዩ የጋዝ ቧንቧዎች ውስጥ በጣም መርዛማ ፈሳሾችን የሚያጓጉዙ ቧንቧዎች 100% የራዲዮግራፊክ ፍተሻ ይከናወናል እና ጥራታቸው ከደረጃ II በታች መሆን የለበትም። ሌሎች ቧንቧዎች ለናሙና የራዲዮግራፊክ ፍተሻ ተገዢ መሆን አለባቸው, እና የናሙና ፍተሻ ጥምርታ ከ 5% ያነሰ አይደለም, ጥራቱ ከ III ክፍል ያነሰ መሆን የለበትም.
(2) አጥፊ ያልሆነውን ምርመራ ካለፉ በኋላ የግፊት ፈተና መደረግ አለበት. የቧንቧ ስርዓቱን ደረቅነት እና ንፅህናን ለማረጋገጥ, የሃይድሮሊክ ግፊት ሙከራ መደረግ የለበትም, ነገር ግን የሳንባ ምች ግፊት ሙከራን መጠቀም ያስፈልጋል. የአየር ግፊቱ ሙከራ ከንጹህ ክፍል የንጽህና ደረጃ ጋር የሚጣጣም ናይትሮጅን ወይም የታመቀ አየር በመጠቀም መከናወን አለበት. የቧንቧው የሙከራ ግፊት ከዲዛይን ግፊት 1.15 እጥፍ መሆን አለበት, እና የቫኩም ቧንቧው የሙከራ ግፊት 0.2MPa መሆን አለበት. በፈተናው ወቅት ግፊቱ ቀስ በቀስ እና ቀስ በቀስ መጨመር አለበት. ግፊቱ ወደ 50% የፈተና ግፊቱ ሲጨምር፣ ምንም አይነት ልዩነት ወይም መፍሰስ ካልተገኘ፣ ግፊቱን ደረጃ በደረጃ በ10% ከፍ ማድረግን ይቀጥሉ እና ግፊቱን በየደረጃው ለ 3 ደቂቃ በማረጋጋት እስከ ፈተናው ግፊት ድረስ። . ግፊቱን ለ 10 ደቂቃዎች ያረጋጋው, ከዚያም ግፊቱን ወደ ንድፍ ግፊት ይቀንሱ. የግፊት መቆሚያው ጊዜ እንደ ፍሳሽ ማወቂያ ፍላጎቶች መወሰን አለበት. ምንም ፍሳሽ ከሌለ የአረፋ ወኪሉ ብቁ ነው.
(3) የቫኩም ሲስተም የግፊት ፈተናውን ካለፈ በኋላ በዲዛይኑ ሰነዶች መሰረት የ 24 ሰዓት የቫኩም ዲግሪ ፈተናን ማካሄድ እና የግፊት መጠኑ ከ 5% በላይ መሆን የለበትም.
(4) የማፍሰስ ሙከራ። ለ ppb እና ppt ደረጃ የቧንቧ መስመር ስርዓቶች, እንደ አስፈላጊነቱ, ምንም አይነት ፍሳሽ እንደ ብቁ ተደርጎ ሊወሰድ አይገባም, ነገር ግን የፍሰት መጠን ፈተና በንድፍ ጊዜ ጥቅም ላይ ይውላል, ማለትም, የፍሳሽ መጠን ምርመራው የሚከናወነው ከአየር ጥብቅነት ሙከራ በኋላ ነው. ግፊቱ የሥራ ጫና ነው, እና ግፊቱ ለ 24 ሰዓታት ይቆማል. አማካኝ የሰዓት መፍሰስ እንደ ብቁ ከ 50 ፒፒኤም ያነሰ ወይም እኩል ነው። የመፍሰሱ ስሌት እንደሚከተለው ነው.
ሀ=(1-P2T1/P1T2)*100/ቲ
በቀመር ውስጥ፡-
የአንድ ሰዓት መፍሰስ (%)
P1 - በፈተናው መጀመሪያ ላይ ፍጹም ግፊት (ፓ)
P2 - ፍፁም ግፊት በሙከራው መጨረሻ (ፓ)
T1-ፍፁም ሙቀት በሙከራው መጀመሪያ (K)
T2-ፍፁም የሙቀት መጠን በሙከራው መጨረሻ (K)