የ UHP ጋዝ አቅርቦት ስርዓቶች ለምን በጣም ወሳኝ ናቸው?
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ - እንደ ኢቺንግ፣ ሲቪዲ፣ አዮን ኢምፕላንቴሽን እና ሊቶግራፊ ያሉ ሂደቶች - የሂደት ጋዞች እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና መሆን አለባቸው፣ በተለይም 99.9999% (6N) ወይም 99.99999% (7N)። በppb (ክፍሎች በቢሊዮን) ወይም ppt (ክፍሎች በትሪሊዮን) ደረጃ - እንደ እርጥበት ወይም ኦክስጅን ያሉ - እንደ የጌት ኦክሳይድ ታይኒንግ፣ የብረታ ብረት ክፍተቶች ወይም በዋፈር ላይ አጭር ወረዳዎች ያሉ ገዳይ ጉድለቶችን ሊያስከትሉ ይችላሉ፣ ይህም ሙሉ ቦታዎችን ሊሰብር ይችላል።
ስለዚህ የ UHP የጋዝ አቅርቦት ስርዓት ተልዕኮ ጋዞችን ከምንጩ ወደ ሂደቱ መሳሪያ ያለምንም ንፅህና ማጓጓዝ ሲሆን ይህም በእያንዳንዱ ነጥብ ብክለትን እና ፍሳሽን ይከላከላል።
የኢፒ ቱቦዎች የ UHP ስርዓቶች ዋና መሠረት የሆኑት ለምንድነው?
የኢፒ (ኤሌክትሮፖሊሽድ) ቱቦ የተሰራው ከማይዝግ ብረት ሲሆን ኤሌክትሮኬሚካል የማጥራት ሂደትን የሚያልፍ ሲሆን ይህም እንደ መስታወት ያለ ውስጣዊ ገጽ ይፈጥራል። ይህም ለ UHP ጋዝ ስርጭት አስፈላጊው "የደም ቧንቧ" ያደርገዋል።
ከፍተኛ ንፅህና - በምንጩ ላይ መከላከል
የኢፒ ማቀነባበሪያ የውስጥ ወለል ሻካራነትን (Ra) ወደ 0.13 µm - 0.25 µm ወይም ከዚያ በታች ይቀንሳል። ይህ እጅግ በጣም ለስላሳ አጨራረስ ጥቃቅን ክፍተቶችን እና የመምጠጥ ቦታዎችን ያስወግዳል፣ ቅንጣቶች፣ የብረት አየኖች ወይም እርጥበት እንዳይጣበቅ ምንም ቦታ አይተውም።
የተሻሻለ የዝገት መቋቋም - የንጽህና ጥበቃ
የኤሌክትሮፖሊሲንግ እርምጃው የገጽታ ቆሻሻዎችን ያስወግዳል እና በክሮም-ኦክሳይድ የበለፀገ ተገብሮ ንብርብር ይፈጥራል፣ ይህም እንደ Cl₂፣ CF₄ እና HCl ላሉ ዝገት ጋዞች የመቋቋም አቅምን በእጅጉ ያሻሽላል። ይህ ቅንጣቶችን ወይም የጋዝ መበከልን ሊያስከትሉ የሚችሉ የቧንቧ ግድግዳ ዝገትን ይከላከላል።
የተሻሻለ የፍሰት ቅልጥፍና እና ፈጣን ማጽዳት
ለስላሳው የውስጥ ግድግዳ የፍሰት መቋቋምን ይቀንሳል እና የስርዓት ማጽዳትን እና የጋዝ መተካትን ያፋጥናል። ፈጣን የጋዝ መቀያየርን በሚጠይቁ ሂደቶች ውስጥ፣ ይህ የዑደት ጊዜዎችን ያሳጥራል እና ከፍተኛ የውጤት ፍሰትን ይጨምራል።
ፕሪሚየም ቁሳቁስ - የ"ዘውድ" መደበኛ
ከፍተኛ ጥራት ያለው የኢፒ ቱቦ የሚመረተው ከ316L VIM-VAR (ቫክዩም ኢንዳክሽን ሜልቲንግ + ቫክዩም አርክ ሪሜልቲንግ) አይዝጌ ብረት ነው። ይህ ድርብ-ሜልት ሂደት የመሠረት ብረቱን ከፍተኛ የጅምላ ንፅህና ያረጋግጣል፣ ይህም የEPን የመጨረሻ አፈጻጸም ለማሳካት መሰረታዊ ቅድመ ሁኔታ ነው።
ቁልፍ የትግበራ ሁኔታዎች
•
ዋና ሂደቶች- ለመቅረጽ፣ ለሲቪዲ (CVD)፣ ለአዮን ተከላ እና ለሊቶግራፊ ከፍተኛ ንፁህ ምላሽ ሰጪ ጋዞችን ማቅረብ።
•
ልዩ ጋዞች– እንደ SiH₄፣ PH₃፣ Cl₂ እና BCl₃ ያሉ ተቀጣጣይ፣ መርዛማ ወይም ዝገት ጋዞችን ደህንነቱ በተጠበቀ ሁኔታ መያዝ። እጅግ በጣም አደገኛ ለሆኑ ጋዞች፣ ድርብ ኮንቴይነር ያለው የEP ቱቦ ብዙውን ጊዜ ጥቅም ላይ ይውላል (ለጋዝ ውስጣዊ ቱቦ፣ ውጫዊ ጃኬት ለቆሻሻ ማስወገጃ ወይም በናይትሮጅን ለማፍሰስ ክትትል)።
•
ወሳኝ ሃርድዌር- እጅግ በጣም ንጹህ የውስጥ ገጽታዎች አስገዳጅ በሆኑባቸው የጋዝ ማከፋፈያ ፓነሎች (VMBs)፣ የጋዝ ካቢኔቶች እና የሂደት መሳሪያዎች ማያያዣዎች ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል።
ከቱቦው ባሻገር፡- ለተሟላ የUHP ስርዓት ሌሎች አስፈላጊ ነገሮች
ፍጹም የሆነ ታማኝነትን ለማረጋገጥ ስርዓቱ የሚከተሉትን ማካተት አለበት፡
•
ሙሉ በሙሉ አውቶማቲክ የሆነ የኦርቢታል ብየዳ- በ ISO ክፍል 5 (ክፍል 100) ወይም በተሻለ የጽዳት ክፍሎች ውስጥ የተከናወነ፣ በእጅ የሚገጣጠሙ ልዩነቶችን እና የብክለት አደጋዎችን ያስወግዳል።
•
ሁሉም-ሜታል የፊት ማህተም መገጣጠሚያዎች– እንደ VCR® ወይም W‑Seal አይነት ያሉ፣ እነዚህም ምንም አይነት የፍሳሽ ማስወገጃ አፈፃፀም እንዳይኖር በብረት ጋኬቶች ላይ የተመሰረቱ ናቸው።
•
ጥብቅ ጽዳት እና ማሸግ- የኢፒ ቱቦዎች በተለምዶ ከፍተኛ ንፁህ ውሃ በመጠቀም ይጸዳሉ፣ ይደርቃሉ እና በናይትሮጅን ይጸዳሉ፣ ከዚያም በንፁህ ክፍል ማሸጊያ ውስጥ ሁለት ጊዜ ይያዛሉ ይህም እስኪጫን ድረስ "እንደተላከ" ንፁህነታቸውን ለመጠበቅ።
የኢፒ ቱቦዎች የቧንቧ መስመር ብቻ አይደለም - በሴሚኮንዳክተር ጋዝ አቅርቦት ውስጥ የመጀመሪያው የመከላከያ መስመር ነው። እጅግ በጣም ለስላሳው ወለል፣ የላቀ የዝገት መቋቋም እና ከፍተኛ የቁሳቁስ ንፅህና በቀጥታ የዋፈር ምርትን፣ የመሳሪያ አስተማማኝነትን እና አጠቃላይ ከፍተኛ ትርፋማነትን ይነካል። ከ5nm በታች ባሉ ኖዶች እና በጣም ጥብቅ በሆኑ ጉድለቶች ዓለም ውስጥ የኢፒ ቱቦዎች አማራጭ አይደሉም - መሰረታዊ ነው።
የፖስታ ሰዓት፡ ኦገስት-05-2026